Excellent cleaning performance
SEM(x1500) Testの結果、Hyper-Starは熱によるダメージとウェハー表面上にDebrisが発生しない。
PRODUCT
Wafer Laser Grooving工程時に発生する熱的Damage、Debrisなどから表面を安全に保護するProtection Coating Solution
半導体、LED、PCBなど (Laser Grooving)
SEM(x1500) Testの結果、Hyper-Starは熱によるダメージとウェハー表面上にDebrisが発生しない。
Hyper-Starを適用したレーザーScribing作業の結果、waferやPCB表面のburr、microcrack、pad contamination防止を確認
コーティング力とリンス性に優れているため、熱的damageを安全に抑制し、クリーニング後の残渣が全く残らない。