PRODUCT

Chemical

Chemical

Hyper-Star

Laser Scribing solution

Description

Wafer Laser Grooving 공정 시 발생되는 열적 Damage, Debris 등으로부터 표면을 안전하게 보호해주는 Protection Coating Solution

Application

반도체, LED, PCB 등 (Laser Grooving)

Effect of
Hyper-Star

  • 균일한 Coating 능력을 통해 열적 Damage로 부터 자재 보호
  • Laser 접촉면 온도를 낮춰 Wafer cutting시 품질 향상
  • 자재 특성에 맞춰 고/저점도 적용 가능, 고(高)내열성 통한 Burning 방지
  • DI Water로 쉽게 세정이 가능한 친수성 Type

Excellent cleaning performance

SEM(x1500) Test 결과, Hyper-Star는 열적데미지와 웨이퍼 표면 위에 Debris 가 발생하지 않음





Application Test

Hyper-Star를 적용한 레이저 Scribing 작업 결과 wafer나 PCB 표면의 burr, micro crack, pad contamination 방지를 확인





코팅력과 린스성이 매우 우수하기 때문에, 열적 damage를 안전하게 억제하여 주며, 클리닝 후 잔사가 전혀 남지 않음